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氣體管路五項測試流程

氣體管路五項測試流程
(一)保壓測試(Pressure Test)保壓儀,管道測試的壓力為設計壓力的1.15倍,保壓儀使用時間至少30分鐘,測量過程中壓力保持不變。
(二)氦測漏(He Leak Test)氦檢儀,檢測不得低于10E-10CC。
(三)粒子含量分析(Particle Analyzer)粒子計數器,被測氣體中0.1-0.3微米的顆粒總數≤35且連續測量至少3次全部達標。
(四)氧含量分析(Oxygen Analyzer)氧濃分析儀,氧氣的含量應≤100ppbv。
(五)水含量分析(Moisture Analyzer)水分含量分析儀,氣體的流速低于設計的流速的10%且小于3m/s,水分應該≤1ppbv。

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